• Всего документов: 5844
  • Число пользователей: 15251

Past dislokatsiyali germaniy monokristallarini o'stirish

Eritish O'sish mashinasi EKZ 2700 Dislokatsiya bilan qirqish
Dislokatsiya bilan qirqish uchun ishlab chiqarish texnikasi ishlab chiqilgan
turli kristallografik germaniy monokristallarining namunalari
orientatsiyalar Ishning maqsadi
Past dislokatsiyali germaniy 
monokristallarini o'stirish masalalarini 
o'rganish va ularni olish shartlarini 
aniqlash. Amaliy qism
200 dan ortiq monokristal yetishtirildi
O'sib borayotgan monokristalni argon bilan sovutish 
baholandi
Oksid plyonkalarining salbiy ta'siri baholandi
Diametri 55 mm va dislokatsiya zichligi 750 
sm  -2 bo'lgan monokristallar olindi.
Ish natijalariga ko'ra ixtiroga ariza berildi (Germaniy monokristallarini 
etishtirishda eritmaning sirtini tozalash usuli / Ariza № 2017114619, 
ustuvorlik 27.04.2017. Modellashtirish taxminlari

Radiatsiya  nurlanishning  spektral  intensivligi  bilan  tavsiflanadi  I 
n  (  ),  t 
vaqt  yo'nalishi  bo'yicha  ,  chastota  birligi  oralig'ida,  shu  jumladan 
chastota n va vaqt birligida o'tadigan energiya miqdoriga teng .

Qonun  bajarildi,  unga  ko'ra  termodinamik  muvozanatdagi  muhitda 
chiqariladigan nurlanish intensivligi I 
n  ( ) spektral yutilish koeffitsienti k 
n  (  )  va  qora  jismdan  nurlanish  intensivligi  I 
n  (T)  bilan  bog'liq. 
munosabat :
, ( 1)
Qayerda, (2)
Bu  erda  h  -  Plank  doimiysi,  c  -  muhitdagi  yorug'lik  tezligi,  k  -  Boltsman 
doimiysi .

tenglamasi shaklga ega
, (3)
spektral tarqalish koeffitsienti qayerda, va
(4)
bu yerda    - spektral zaiflashuv koeffitsienti. Teskari konusning o'sishi va sovutish

Eritma yuzasidan 
yirtilgan kristallning 
tasavvurlar 
diametrini 
kamaytirish orqali 
termal zarba ta'sirini 
kamaytirish uchun 
teskari konus 
o'stiriladi. 
Past dislokatsiyali 
germaniy kristallarini 
sovutish, ayniqsa, 
yuqori harorat 
oralig'ida (500 ° C dan 
yuqori) imkon qadar 
sekin amalga 
oshirilishi kerak. Boshqa o'lchovlar
•
To'rt prob usuliUES Germaniya
•
Oqim kuchlanishining 
xarakteristikalari usuliGermaniy 
o'tkazuvchanlik 
turi
•
PirometrEritma harorati
•
Isitgichning qarshiligiga ko'raIsitgich harorati         1 •
Choxralskiy usuli bo'yicha kam 
tarqalgan germaniy kristallarini 
yetishtirish murakkab texnologik vazifa 
bo'lib, mavjud texnologiyani har 
tomonlama takomillashtirishni talab 
qiladi
2 •
Germaniy monokristallarini 
yetishtirishning eng muhim 
muammolaridan biri eritma 
yuzasidan erimaydigan oksid 
plyonkalarini olishdir.
3 •
Oksid plyonkalarining mavjudligi matematik modellardan foydalanishni va ularning haqiqiy jarayonga qanchalik m os kelishini baholashni qiyinlashtiradi. Chet  zarralarning mavjudligi ko'pincha partiya jarayonlarida bi- va 
polikristallanishga olib keladi. Diametr uchun chiqish
Bo'yin o'sishi 
oxirida qanchalik 
kam 
dislokatsiyalar 
mavjud bo'lsa, 
berilgan 
diametrga etganda 
kamroq 
dislokatsiyalar 
bo'ladi. Aylanma bo’yinlar  o'sishi
monokristal hajmiga 
o'sishini oldini olish uchun 
amalga oshiriladi . Yuklanmoqda
uchun polikristalli zonada 
tozalangan germaniy 
ishlatiladi (GPZ), uning 
yuzasidan oksidli plyonkani 
olib tashlash uchun 
kimyoviy ishlov berishdan 
o'tgan , shuningdek, 
germaniy almashinuvi.
Yarimo'tkazgichlarning elektr 
qarshiligining nopoklik 
konsentratsiyasiga bog'liqligi Monokristallarni etishtirish
Monokr ist allar ni et isht ir ish bo' yicha ko' r sat malar  G er maniya va 
ot -pok-01-16 ( 1-nashr ) E'TIBORINGIZ 
UCHUN 
RAHMAT! Operatsion muammosi

past  dislokatsiyadan  foydalanish  muhimdir 
yuqori  samarali  quyosh  xujayralari,  VLSI  va 
optik  elementlar  uchun  substratlar  ishlab 
chiqarish  uchun  katta  diametrli  germaniy 
monokristallari .

Rossiya  Federatsiyasida  past  dislokatsiyani 
etishtirish  uchun  sanoat  texnologiyasi 
mavjud  emas  Czochralski  usuli  yordamida 
germaniy monokristallari . Yagona kristallar yetishtiriladi

Diametri 200 mm va 
uzunligi 400 mm 
bo'lgan monokristal

Diametri 80 
mm va uzunligi 
950 mm bo'lgan 
monokristal O'sish birligini evakuatsiya qilish
O'sish 
moslamasini 
evakuatsiya qilish 
vakuum 
kameralarining 
atmosferasini 
o'sish jarayoniga 
tayyorlash uchun 
amalga oshiriladi. Simulyatsiya xulosalari
Kristallanish jabhasining inversiyasi dislokatsiyalarning intensiv 
ko'payishiga olib keladi.
Model tajribalari tekis kristallanish jabhasining shaklini saqlab 
qolish zarurligini tasdiqladi.
Past dislokatsiyali monokristallar (103 sm-2 dan kam) kristalldagi 
radial harorat gradientining ~ 1,0 K°/sm dan kam bo'lgan 
qiymatlarida mumkin.
Kristalni ma'lum diametrga o'stirishda paydo bo'ladigan 
konusning burchagi 30 ° dan oshmasligi kerakligi eksperimental 
ravishda aniqlangan. Urug’
Urug' ekish - bu urug'lik 
kristalining eritma bilan 
aloqa qiladigan o'sish 
jarayonini boshlash 
uchun tayyorgarlik. O'sish jarayonlarini modellashtirish
Muammo: Czochralski usuli yordamida tekis 
kristallanish jabhasiga ega germaniy 
kristallarining o'sish dinamikasini tavsiflovchi 
optimal hisoblash modelini tanlash . Fotokonvertorlarni ishlab chiqarish uchun 
germaniy substratlarga qo'yiladigan talablar O'sishning nazorat parametrlari
Tortish tezligi
Kristal aylanish 
tezligi
Tigel aylanish 
tezligiO'sish 
tizimidagi 
haroratO'rnatish 
dizayni va 
materiallari natijalar

Topilgan  issiqlik  oqimlari  asosida 
FPC  ni  aniqlaydigan  kristallanish 
tezligi hisoblab chiqilgan:
,
Bu  erda  L  -  termoyadroviyning 
yashirin  issiqligi,  kristall  zichligi, 
kristallanish  jabhasidan  qattiq  fazaga 
chiqadigan  tigel  oqimi  va 
oldingi/eritmadan  keladigan  issiqlik 
oqimi .
o'lchovsiz  egrilik  radiusi  R  /  R 
k 
o'lchovsiz jarayon vaqtiga bog'liqligi . t 
=  t/  t 
masalan,  radiusi  R 
k  bo'lgan  kristall 
tortilganda=  Czochralski  usuli 
yordamida  diametri  300  mm  bo'lgan 
tigeldan 75 mm . 1 •
Choxralski usulidan foydalangan holda 
past dislokatsiyali germaniy kristallarini 
etishtirish murakkab texnologik vazifa 
bo'lib, mavjud texnologiyani har 
tomonlama takomillashtirishni talab qiladi .
2 •
Germaniy monokristallarini etishtirishdagi 
eng muhim muammolardan biri eritma 
yuzasidan erimaydigan oksid plyonkalarini 
olishdir .
3 •
Oksid plyonkalarining mavjudligi matematik 
modellardan foydalanishni va ularning 
haqiqiy jarayonga qanchalik mos kelishini 
baholashni qiyinlashtiradi. Chet zarralarning 
mavjudligi ko'pincha partiya jarayonlarida 
bi- va polikristallanishga olib keladi .  Past dislokatsiyali germaniy 
monokristallarini o'stirish
Muallif: Iqtisodiyot va ijtimoiy fanlar 
fakulteti magistranti Ivanov M.A. Germaniy monokristallarini yetishtirish 
jarayonining texnologik jihatlari
Yuklanm
oqda
Changni tozalash
Sug'urta
O'lja
Bachadon 
bo'yni o'sishiDiametr 
uchun 
chiqishTsilindrni
ng o'sishiTeskari 
konusni 
o'stirish Sovutish O'sayotgan germaniy monokristallari
egiluvchan novda bilan EKZ 
2700 o'rnatishda Czochralski 
usuli yordamida o'stirildi .
  Silindrning o'sishi
Tsilindrning 
o'sishini sozlash, 
isitgichning 
harorati yoki 
tortishish tezligida 
keskin 
o'zgarishlarsiz, iloji 
boricha yumshoq 
tarzda amalga 
oshirilishi kerak. Monkristallarda dislokatsiya zichligini 
nazorat qilish
Zichlik
dislokatsiyal
ar
kristallda
diametri 55 
mm
va tekis 
uzunlik 
konus
110 mm -
787 sm  -1

Past dislokatsiyali germaniy monokristallarini o'stirish