Past dislokatsiyali germaniy monokristallarini o'stirish - Kimyo - Slaydlar

Dokument ma'lumotlari

Narxi	9000UZS
Hajmi	3.7MB
Xaridlar	0
Yuklab olingan sana	05 Mart 2024
Kengaytma	pptx
Bo'lim	Slaydlar
Fan	Kimyo

Sotuvchi

Javohirbek igamberdiyev

Ro'yxatga olish sanasi 23 Fevral 2024

18 Sotish

Past dislokatsiyali germaniy monokristallarini o'stirish

Sotib olish

Past dislokatsiyali germaniy
monokristallarini o'stirish
Muallif: Iqtisodiyot va ijtimoiy fanlar
fakulteti magistranti Ivanov M.A.

Operatsion muammosi

past dislokatsiyadan foydalanish muhimdir
yuqori samarali quyosh xujayralari, VLSI va
optik elementlar uchun substratlar ishlab
chiqarish uchun katta diametrli germaniy
monokristallari .

Rossiya Federatsiyasida past dislokatsiyani
etishtirish uchun sanoat texnologiyasi
mavjud emas Czochralski usuli yordamida
germaniy monokristallari .

Ishning maqsadi
Past dislokatsiyali germaniy
monokristallarini o'stirish masalalarini
o'rganish va ularni olish shartlarini
aniqlash.

Fotokonvertorlarni ishlab chiqarish uchun
germaniy substratlarga qo'yiladigan talablar

Dislokatsiya bilan qirqish
Dislokatsiya bilan qirqish uchun ishlab chiqarish texnikasi ishlab chiqilgan
turli kristallografik germaniy monokristallarining namunalari
orientatsiyalar

O'sayotgan germaniy monokristallari
egiluvchan novda bilan EKZ
2700 o'rnatishda Czochralski
usuli yordamida o'stirildi .

O'sish mashinasi EKZ 2700

Boshqa o'lchovlar
•
To'rt prob usuliUES Germaniya
•
Oqim kuchlanishining
xarakteristikalari usuliGermaniy
o'tkazuvchanlik
turi
•
PirometrEritma harorati
•
Isitgichning qarshiligiga ko'raIsitgich harorati

O'sish jarayonlarini modellashtirish
Muammo: Czochralski usuli yordamida tekis
kristallanish jabhasiga ega germaniy
kristallarining o'sish dinamikasini tavsiflovchi
optimal hisoblash modelini tanlash .

O'sishning nazorat parametrlari
Tortish tezligi
Kristal aylanish
tezligi
Tigel aylanish
tezligiO'sish
tizimidagi
haroratO'rnatish
dizayni va
materiallari

Modellashtirish taxminlari

Radiatsiya nurlanishning spektral intensivligi bilan tavsiflanadi I
n ( ), t
vaqt yo'nalishi bo'yicha , chastota birligi oralig'ida, shu jumladan
chastota n va vaqt birligida o'tadigan energiya miqdoriga teng .

Qonun bajarildi, unga ko'ra termodinamik muvozanatdagi muhitda
chiqariladigan nurlanish intensivligi I
n ( ) spektral yutilish koeffitsienti k
n ( ) va qora jismdan nurlanish intensivligi I
n (T) bilan bog'liq.
munosabat :
, ( 1)
Qayerda, (2)
Bu erda h - Plank doimiysi, c - muhitdagi yorug'lik tezligi, k - Boltsman
doimiysi .

tenglamasi shaklga ega
, (3)
spektral tarqalish koeffitsienti qayerda, va
(4)
bu yerda  - spektral zaiflashuv koeffitsienti.

natijalar

Topilgan issiqlik oqimlari asosida
FPC ni aniqlaydigan kristallanish
tezligi hisoblab chiqilgan:
,
Bu erda L - termoyadroviyning
yashirin issiqligi, kristall zichligi,
kristallanish jabhasidan qattiq fazaga
chiqadigan tigel oqimi va
oldingi/eritmadan keladigan issiqlik
oqimi .
o'lchovsiz egrilik radiusi R / R
k
o'lchovsiz jarayon vaqtiga bog'liqligi . t
= t/ t
masalan, radiusi R
k bo'lgan kristall
tortilganda= Czochralski usuli
yordamida diametri 300 mm bo'lgan
tigeldan 75 mm .

Simulyatsiya xulosalari
Kristallanish jabhasining inversiyasi dislokatsiyalarning intensiv
ko'payishiga olib keladi.
Model tajribalari tekis kristallanish jabhasining shaklini saqlab
qolish zarurligini tasdiqladi.
Past dislokatsiyali monokristallar (103 sm-2 dan kam) kristalldagi
radial harorat gradientining ~ 1,0 K°/sm dan kam bo'lgan
qiymatlarida mumkin.
Kristalni ma'lum diametrga o'stirishda paydo bo'ladigan
konusning burchagi 30 ° dan oshmasligi kerakligi eksperimental
ravishda aniqlangan.

Germaniy monokristallarini yetishtirish
jarayonining texnologik jihatlari
Yuklanm
oqda
Changni tozalash
Sug'urta
O'lja
Bachadon
bo'yni o'sishiDiametr
uchun
chiqishTsilindrni
ng o'sishiTeskari
konusni
o'stirish Sovutish

Yuklanmoqda
uchun polikristalli zonada
tozalangan germaniy
ishlatiladi (GPZ), uning
yuzasidan oksidli plyonkani
olib tashlash uchun
kimyoviy ishlov berishdan
o'tgan , shuningdek,
germaniy almashinuvi.
Yarimo'tkazgichlarning elektr
qarshiligining nopoklik
konsentratsiyasiga bog'liqligi

O'sish birligini evakuatsiya qilish
O'sish
moslamasini
evakuatsiya qilish
vakuum
kameralarining
atmosferasini
o'sish jarayoniga
tayyorlash uchun
amalga oshiriladi.

Urug’
Urug' ekish - bu urug'lik
kristalining eritma bilan
aloqa qiladigan o'sish
jarayonini boshlash
uchun tayyorgarlik.

Aylanma bo’yinlar o'sishi
monokristal hajmiga
o'sishini oldini olish uchun
amalga oshiriladi .

Diametr uchun chiqish
Bo'yin o'sishi
oxirida qanchalik
kam
dislokatsiyalar
mavjud bo'lsa,
berilgan
diametrga etganda
kamroq
dislokatsiyalar
bo'ladi.

Silindrning o'sishi
Tsilindrning
o'sishini sozlash,
isitgichning
harorati yoki
tortishish tezligida
keskin
o'zgarishlarsiz, iloji
boricha yumshoq
tarzda amalga
oshirilishi kerak.

Teskari konusning o'sishi va sovutish

Eritma yuzasidan
yirtilgan kristallning
tasavvurlar
diametrini
kamaytirish orqali
termal zarba ta'sirini
kamaytirish uchun
teskari konus
o'stiriladi. 
Past dislokatsiyali
germaniy kristallarini
sovutish, ayniqsa,
yuqori harorat
oralig'ida (500 ° C dan
yuqori) imkon qadar
sekin amalga
oshirilishi kerak.

Amaliy qism
200 dan ortiq monokristal yetishtirildi
O'sib borayotgan monokristalni argon bilan sovutish
baholandi
Oksid plyonkalarining salbiy ta'siri baholandi
Diametri 55 mm va dislokatsiya zichligi 750
sm -2 bo'lgan monokristallar olindi.
Ish natijalariga ko'ra ixtiroga ariza berildi (Germaniy monokristallarini
etishtirishda eritmaning sirtini tozalash usuli / Ariza № 2017114619,
ustuvorlik 27.04.2017.

Monokristallarni etishtirish
Monokr ist allar ni et isht ir ish bo' yicha ko' r sat malar G er maniya va
ot -pok-01-16 ( 1-nashr )

Yagona kristallar yetishtiriladi

Diametri 200 mm va
uzunligi 400 mm
bo'lgan monokristal

Diametri 80
mm va uzunligi
950 mm bo'lgan
monokristal

Monkristallarda dislokatsiya zichligini
nazorat qilish
Zichlik
dislokatsiyal
ar
kristallda
diametri 55
mm
va tekis
uzunlik
konus
110 mm -
787 sm -1

1 •
Choxralskiy usuli bo'yicha kam
tarqalgan germaniy kristallarini
yetishtirish murakkab texnologik vazifa
bo'lib, mavjud texnologiyani har
tomonlama takomillashtirishni talab
qiladi
2 •
Germaniy monokristallarini
yetishtirishning eng muhim
muammolaridan biri eritma
yuzasidan erimaydigan oksid
plyonkalarini olishdir.
3 •
Oksid plyonkalarining mavjudligi matematik modellardan foydalanishni va ularning haqiqiy jarayonga qanchalik m os kelishini baholashni qiyinlashtiradi. Chet zarralarning mavjudligi ko'pincha partiya jarayonlarida bi- va
polikristallanishga olib keladi.

1 •
Choxralski usulidan foydalangan holda
past dislokatsiyali germaniy kristallarini
etishtirish murakkab texnologik vazifa
bo'lib, mavjud texnologiyani har
tomonlama takomillashtirishni talab qiladi .
2 •
Germaniy monokristallarini etishtirishdagi
eng muhim muammolardan biri eritma
yuzasidan erimaydigan oksid plyonkalarini
olishdir .
3 •
Oksid plyonkalarining mavjudligi matematik
modellardan foydalanishni va ularning
haqiqiy jarayonga qanchalik mos kelishini
baholashni qiyinlashtiradi. Chet zarralarning
mavjudligi ko'pincha partiya jarayonlarida
bi- va polikristallanishga olib keladi .

E'TIBORINGIZ
UCHUN
RAHMAT!

Past dislokatsiyali germaniy monokristallarini o'stirish

Sotib olish