• Всего документов: 5844
  • Число пользователей: 15251

Vakuum oʻlchash asboblari

Elektronli-ionizatsion manometrlar asosan LM -2 markali lampadir.
Bu lampa ko’rinishidan 3 elektrodli lampaga o’xshaydi, lekin ishlash prinsipi jihatidan tubdan farq qiladi. LM-2 manometrlarining ishlash prinsipi gazlarning ionlashishiga va natijada ion 
toki, gazning bosimiga bog’liqligiga asoslangan.LM-2 manometrning tuzilishi va elektrik sxemasi 6-rasmda keltirilgan.6-rasmdan ko’rinib turibdiki, LM-2 lampa bevosita katoddan va ionlar 
kollektoridan iborat.  VAKUUMLARNI O`LCHASH 
ASBOBLARINING KLASSIFIKATSIYASI
Reja:
1.Vakuum haqida tushuncha
2.Nasoslar klassifikatsiyasi
3.Bosimni o`lchash.Manometrlar 3-rasm.ion-sarbsion 
nasoslar sxemasi 4-rasm.Turbomolekulali 
nasoslar sxemasi Vakuumdagi qoldiq gazlar bosimini o`lchash uchun bir nechta manometrlar mavjud.Biz 
asosan vakuum texnikasida ko`p ishlatiladigan termoparali va ionizasiyali manomertlar bilan 
tanishamiz.
a)Termoparali manometrlar
Termoparali manometrning ishlash prinsipi ma’lum bosim oralig`ida gazlar isssiqlik 
o`tkazuvchanlikning,gaz bosimiga bog`liqligiga asoslangan.Termoparali manometr yordamida - 
Torr oralig`ida qoldiq bosimni o`lchash mumkin.Bunday manometrlar ko`rinishi va elektrik 
sxemasi 5-rasmda keltirilgan.Termaparali manometrlar LT-2(shishali) va LT-4M(metalli) markalar 
bilan ishlab chiqildi.LT-2 lampasida qizitkich sifatida diametri 0.1 mm li platina, termopara uchun 
esa, qizitgich sifatida nikel,termopara uchun xromel-almel ishlatiladi.Bosimni o`lchash.Manometrlar 6-rasm.LM-2 elektronli-ionizatsion manometri va uning sxemaga ulanishi: 1- katod; 2-to`r-anod; 
3- kollektor; 4,5-elektronlar va ionlarni nazorat qilish asboblari. E’TIBORINGIZ 
UCHUN RAHMAT
JUMAYEVA SEVARA VAKUUM HOSIL QILISH.NASOSLAR
    Zamonaviy vakuum texnikasida,soʻrish jarayonining xarakat 
prinsipi xat xil va turli tuman konstruksiyali nasoslar qoʻllaniladi.
     Nasoslar asosan ikkita asosiy parametrlar bilan 
xarakterlanadi:soʻrish tezligi va hosil qilayotgan vakuumning 
chegarasi.
     Nasoslar oʻz vazifasi boʻyicha 2 ta sinfga boʻlinadi:
   1.yuqori vakuum nasoslari
   2.past vakuum nasoslari.
      Nasoslarninf ishlashi fizik qonuniyatlariga qarab 
mehanik,molekulyar,diffuzion va ion-sarbsion nasoslarga boʻlinadi. VAKUUM HAQIDA TUSHUNCHA

Vakuum-deganda biror chegaralangan hajmdagi qoldiq gazlar 
bosimi,atmosfera bosimi bir necha marotaba kichik boʻlgan,yaʼni 
siyraklashtirilgan gazga aytiladi.Vakuum orqali oqimi va ularning koʻchish 
hodisasi,hamda gazlarning ionlanish jarayonlari oʻrganiladi.Vakuum 
sistemasidagi qoldiq gazlar bosimining asosiy birliklari:Pa(Paskal),Torr 
yoki mm.sim.ust,atm,bar va hokazolar.Shartli ravishda,vakuumni 
quyidagilarga boʻlish mumkin:past,oʻrta,yuqori va oʻta yuqori.Vakuum 
darajasini,xavoni soʻrib olayotgan ishchi hajmning chiziqli oʻlchami P 
bilan,gaz molekulalarining erkin yugurish yoʻli lar orasidagi munosabat 
xarakterlaydi. 5-rasm (a) LT-2 manometri va (b)-uning ulanish sxemasi:1- kolba;2-katod sim;3- termopara; (c)-
sokolovkasi: 2 va 4-katod sim 1(+) va 3(-) termopara  b
c NASOS TURLARI Mehanik 
nasos
Molekuly
ar nasos
Ion-
sarbsion 
nasos Diffuzion 
nasos     
   Mehanik nasoslarning ishlashi gaz molekulariga harakat miqdorini 
mexanik xarakat orqali uzatilishiga asoslangan.Mehanik 
nasoslar,atmosfera bosimidan to qoldiq gazlar bosimi  10 -3 
Torr gacha 
vakuum hosil qiladi.  10 -6 
Torr vakuumni, yo yoki simob bularda 
ishlaydigan diffuziyasi nasoslar yordamida hosil qilinadi. Lekin 
mehanik va diffuziyasi nasoslar ketma-ket vakuum sxemasiga 
ulanishi va mehanik nasos oldin ishga tushib,dastlabki vakuumni 
hosil qilish shartdir.

    Oʻta yuqori vakuum olishda,turbomolekulali yoki ion-sarbsion 
nasoslar ishlatiladi,ularning soʻrish tezligi juda katta boʻlib,vakuum 
qurilmalarini to yoki simob bugʻlari bilan ifloslantirilmaydi. 1-rasm. Mehanik nasos 
sxemasi 2-rasm.Yog` bug`ida 
ishlaydigan diffusion nasos 
sxemasi